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光源最早的金相顯微鏡,
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採用一般的白熾燈泡照明,以後為了提高亮度及照明效果,出現了低壓鎢絲燈、碳弧燈、氙燈、鹵素燈、水銀燈等。有些特殊性能的顯微鏡需要單色光源,鈉光燈、鉈燈能發出單色光。