非接觸三次元量測以探針去碰觸工件時應盡可能與工件的被測量面保持垂直的方向。正確有效的使用探針來碰觸量測工件，可以避免掉許多量測上不必要的誤差的產生。但是在實際碰觸取點時，至少需保持與垂直面角度在±30°以內。以防止探針打滑而造成量測的重複精度不佳的情況產生。再藉助系統的探針補償來實現數據的準確性。